Plasma Analytic Solutions

   

 













 

 

Model 특 징 측정 변수

Wise Probe

•  Probe Tip의 위치(1 Point)에서의 플라즈마 측정

•  Linear Scanner 장착시 Line 분포 측정 [옵션]

•  Chamber Wall Monitoring System [옵션]

•  플라즈마 밀도

•  Ion Flux

•  전자온도

Wise Probe  2D

•  2차원 플라즈마 분포 측정

•  플라즈마 밀도

•  Ion Flux

•  전자온도

Wise Langmuir Probe

•  Single Langmuir Probe 기술

•  공정 플라즈마 적용은 어려움

•  전자에너지 분포

•  전자온도

•  플라즈마 밀도

•  플라즈마 전위
 

 

■  Wise Probe 구성

     •  Probe Unit : 챔버 장착하여 플라즈마 신호 수집 
     •  WP Controller : Reference 신호발생, 전기신호 변환, 처리, 분석, 측정값 표시
      •  WP Software : 데이터 그래프 표시, 저장, 분석

                        

■  Probe Unit

                    

 

■  Auto Linear Scanner (Optional)

                    

 

■  Wise Probe 실시간 측정

          

                             

■  Comparison with Langmuir probes
       
     

■  Wise Probe Measuremnents Example

       •  Ar+CF4 Varying mix ratio @ 20mTorr

           

    •  Ar, O2, CF4 @ 10mTorr by Auto Linear Scanner

         

              

■  WiPS (Wise Plasma Monitoring System)

       •   Chamber Wall Mount Monitoring System

           

      •   Chamber Wall Monitoring : SRP (Surface Related Parameter)  챔버벽 표면 상태 모니터링 가능
 
                              

  

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